Projektdetail

D-BSSE Dr. Hierlemann

Kurzbeschrieb

Für die ETH Zürich, Abteilung Bauten, konnte die gp-i AG im Syngenta Gebäude 1058 in Basel, im 1. Untergeschoss einen Reinram für den Prof. Hierlemann planen. Auf 100m2 entstand ein Reinraum für die Mikro- und Nanotechnologie. In der Mikro- und Nanotechnologie werden Silizium-Substrate und Polymermaterialien prozessiert. Der Reinraum enthält Equipments wie Lackschleuder, Nassbänke zum aufbringen und entwickeln des Photolackes und den Maskalinger zur präzisen optischen Belichtung. Polymermaterialien werden von Glas und Silizium getrennt, da Polymerreste bei der Strukturierung von Glas und Silizium sehr störend sind.
Der Reinraum hat eine eigene Klimaanlage, welche Temperatur, Feuchte und Druck garantiert. Mit Filter Fan Units werden die Reinheitsklassen in den verschiedenen Zonen erreicht. Die gesamte Anlage wird über ein intelligentes Messen-Steuer und Regelsystem überwacht. Mit einer Silizium/Aluminiumfolie wurde der Reinraum und teils der Wände von einer bestehenden Trafostation abgeschirmt. Für das Equipment wurden verschiedene Gase, Prozesskühlwasser, Druckluft und Reinstwasser benötigt.

Projektschwerpunkte

• Rückbau der alten Anlagen
• Einbringen der neuen Lüftungsanlagen in die bestehende Gebäudestruktur
• Aufbereitung der verschiedenen Gase (Amoniak, Silan, Stickstoff, Sauerstoff)
• Beschichtete Wärmerückgewinnungsbatterien
• Partikelmessungen
• Neue Klimaanlage
• Kälteverteilung
• Prozesskühlwasser
• Druckluftverteilung
• Reistwasseranlage

Beteiligte

Bauherr: ETH Zürich, Abteilung Bauten
Generalplaner: gp-i AG Bern, Jona, Marin

Kenndaten

Planung: Juni 2008 – Dez. 2008
Ausführung: Jan. 2009 – Nov. 2009
Anlagenkosten Klima/Lüftung: CHF 520‘000.–
Anlagekosten Heizung/Kälte: CHF 240‘000.–
Anlagekosten Sanitär: CHF 500‘000.–
Anlagekosten Reinraum: CHF 300‘000.–
Anlagekosten Elektro und MSRL: CHF 330‘000.–
Anlagekosten Rohbau: CHF 140‘000.–
Gesamte Baukosten: CHF 2‘030‘000.–

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